[实用新型]一种黄光曝光用挡板装置有效
| 申请号： | 202220958442.7 | 申请日： | 2022-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN217360554U | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 龚跃武;陈婷;官盛果;杨山清;涂良成 | 申请（专利权）人： | 中山大学南昌研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海塔科专利代理事务所(普通合伙) 31380 | 代理人： | 刘丹 |
| 地址： | 330096 江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型属于微纳加工制造技术领域，具体涉及一种黄光曝光用挡板装置，包括曝光挡板，所述曝光挡板为圆形、尺寸为4寸‑12寸；所述曝光挡板分成N块盖板，N≥2；所述曝光挡板的中央设有旋转件，所述N块盖板分别通过所述旋转件串联，各块盖板能够单独转动。通过在曝光光源与Mask版之间设置本实用新型的挡板装置，挡住不需要的曝光部分，进行多次实验，摸索不同曝光、显影等条件，成本降低较明显，效率提高十分多。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 挡板 装置 | ||
【主权项】：
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