[实用新型]一种光电子集成电路的光学探针有效
申请号: | 202220905707.7 | 申请日: | 2022-04-19 |
公开(公告)号: | CN217112794U | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 胡顶达;萧旭良;吴柏逸 | 申请(专利权)人: | 上诠光纤通信股份有限公司 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12;G02B6/124;G02B6/32 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 崔姬玉 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种光电子集成电路的光学探针,应用于测试晶圆上的复数个光学芯片的测试环境中,该光学芯片包含有至少一光波导,该光学探针包含有:基板、光纤。其中,光纤的刻面具有一第一角度,该第一角度使得光纤传输的光讯号产生全反射,全反射后的该光讯号进入该光学芯片的该光波导中。因此,提供一种可以在晶圆切割抛光之前即进行测试的光学探针,实现一种高速、有效、可靠的检测方案。 | ||
搜索关键词: | 一种 光电子 集成电路 光学 探针 | ||
【主权项】:
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