[实用新型]一种氦测仪器有效
| 申请号： | 202220798948.6 | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN218180200U | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 刘兵;黄永功;叶超 | 申请（专利权）人： | 瑞奥华科技工程（成都）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02;F17D5/02 |
| 代理公司： | 成都科奥专利事务所(普通合伙) 51101 | 代理人： | 苏亚超 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体气体施工技术领域，具体涉及一种氦测仪器，包括固定座、活动丝杆、固定板、升降板、氦气填充组件、密封组件和氦气浓度探测头，密封组件包括固定框和滑动框，进行检测时，将滑动框与固定框组合，与被测管道的外侧壁形成密闭空间，将氦气浓度探测头放置在被测管道的内部，氦气填充组件向密封组件填充氦气，活动丝杆带动升降板沿被测管道缓慢上升，当氦气浓度探测头检测到数值时，说明被测管道具有裂缝或小孔，通过上述结构，对长度较长的管道进行逐段检测，便于查找裂缝位置，且氦气消耗量较小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 仪器 | ||
【主权项】：
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