[实用新型]导流筒及具有其的单晶炉有效
| 申请号： | 202220636839.4 | 申请日： | 2022-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN217149384U | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 田野;陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种导流筒及具有其的单晶炉，所述导流筒的中心限定出气体通道，所述导流筒内设有与所述气体通道间隔开的第一下料通道，所述第一下料通道具有第一进口和第一出口，所述第一进口形成在所述导流筒的上表面，所述第一出口形成在所述导流筒的下表面，所述第一下料通道包括：第一螺旋通道，所述第一螺旋通道连接在所述第一进口和所述第一出口之间，所述第一螺旋通道围绕所述气体通道螺旋向下延伸。根据本实用新型的导流筒，可以有效地避免硅料高速落入坩埚中，从而有利于避免加料过程中液面中心位置出现波动，有利于保证晶棒的生长品质。 | ||
| 搜索关键词： | 导流 具有 单晶炉 | ||
【主权项】：
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