[实用新型]一种真空镀膜机腔体冷却装置有效
| 申请号： | 202220590086.8 | 申请日： | 2022-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN216838154U | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 孙瑞雪;张一帆 | 申请（专利权）人： | 聚能纳米科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置，包括腔体，腔体内表面的顶部固定连接有工件盘，腔体内表面的左右两侧均设有冷却机构，且冷却机构包括两个对称分布的半导体制冷片，两个半导体制冷片之间设有马达，且马达输出轴靠近工件盘的一端固定连接有转动扇，腔体内表面顶部的左右两侧均固定连接有弧形过滤板，该真空镀膜机腔体冷却装置，在基片镀膜完成后，半导体制冷片开设制冷，并且由马达转动带动转动扇转动，将冷气吹至工件盘方向，配合弧形过滤板的设置，冷气流经过弧形过滤板的缓冲使得冷气流更加和缓均匀，实现对工件盘上的基片进行冷却。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 机腔体 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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