[实用新型]薄化装置有效
| 申请号： | 202220589490.3 | 申请日： | 2022-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN217459255U | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 房耸;贾玉斌;井晓静 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;杨思雨 |
| 地址： | 215301 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄化装置，包括用于放置待处理板的容置筐和设在容置筐两侧壁内的限位件，限位件设在所述容置筐相对的两侧壁内，用于限定所述待处理板为竖直状态，所述限位件和所述待处理板的承载面中的至少一者可沿竖直方向移动，所述限位件和所述承载面的移动非同步，使所述限位件和所述待处理板之间可沿竖直方向发生相对运动。具体来说，可通过在待处理板下方设置可上下移动的承托盘或者可带动限位件上下移动的传动杆实现。本实用新型可以实现对待处理板的双面蚀刻，同时减小处理后的板的平整度，有利于后续制程。 | ||
| 搜索关键词： | 化装 | ||
【主权项】：
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