[实用新型]一种基于三元材料平面隧穿效应的光电探测器

摘要

本实用新型公开了一种基于三元材料平面隧穿效应的光电探测器，所述探测器结构从下到上依次包括：衬底、绝缘层、新型三元材料、绝缘氧化物层材料、其他薄膜材料、金属电极。利用新型三元材料作为主体敏感薄膜层材料，通过差平面隧穿效应达到调制光电探测器电流响应度和响应速度的目的。本实用新型主要针对的是三元量子材料，新型三元材料具有在空气中稳定性、超高的载流子迁移率、适中的带隙、出色的稳定性和优异的机械性能，利用三元材料的这些特性，将其与其他薄膜材料复合制备面隧穿效应光电探测器，可以拓宽器件的响应光谱范围和提高器件光电性能，本实用新型的器件在隧穿效应的作用下具有响应速度快、响应度高、响应光谱范围广等特点。