[实用新型]一种大口径自动曝光机有效
| 申请号： | 202220456997.1 | 申请日： | 2022-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN217113045U | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 邹志新 | 申请（专利权）人： | 长沙麓邦光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 长沙市标致专利代理事务所(普通合伙) 43218 | 代理人： | 徐邵华 |
| 地址： | 410221 湖南省长沙市长沙高新开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种大口径自动曝光机，包括机架、安装在机架上的光路系统和散热系统，所述光路系统按光线的传播路线依次包括光源、导光锥、第一准直透镜、复眼透镜，大口径反射镜和第二准直透镜，散热系统安装在光源后方，用于对光源进行散热。本实用新型的曝光机通过石英导光锥和复眼透镜相结合，对光线进行了两次匀化，使得本申请中曝光机的曝光尺寸更大、曝光能量更高，曝光更均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 自动 曝光 | ||
【主权项】：
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