[实用新型]一种用于碳化硅晶体多线切割的罗拉有效
申请号: | 202220410591.X | 申请日: | 2022-02-28 |
公开(公告)号: | CN217476315U | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 王升;陈辉;李有群;贺贤汉 | 申请(专利权)人: | 安徽微芯长江半导体材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B65H75/08 |
代理公司: | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人: | 李坤 |
地址: | 244000 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种用于碳化硅晶体多线切割的罗拉,该罗拉具有不连续的多个线槽区,每个线槽区的槽距和宽度可变,相邻线槽区之间设置有分隔区,分隔区上设有绕线所需要的切割钢线定位槽和固定螺丝孔。本实用新型能够根据需要切割的碳化硅晶体厚度和切后的晶片厚度,选择在同一个罗拉上的不同线槽区绕线并切割,无需更换罗拉,增加了罗拉的使用寿命,减少了安装、拆卸罗拉及绕线的时间,降低了碳化硅晶体多线切割成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 碳化硅 晶体 切割 罗拉 | ||
【主权项】:
暂无信息
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