[实用新型]超长工件图形转移曝光机有效

专利信息
申请号: 202220404756.2 申请日: 2022-02-24
公开(公告)号: CN216817171U 公开(公告)日: 2022-06-24
发明(设计)人: 刘保华;徐小龙;管燕彬 申请(专利权)人: 昆山建高远自动化科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 朱世新
地址: 215347 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种超长工件图形转移曝光机,包括机架,所述机架的上端设有上框架,所述上框架的拐角处设有锁框机构,所述上框架上方安装的上灯扫描轨道滑接有上LED扫描光源,所述上框架的底部通过下灯扫描轨道支撑架设有下灯扫描轨道,所述下灯扫描轨道上滑接有下LED扫描光源,所述下灯扫描轨道支撑架中部安装有LED光源控制系统。所述机架的左前端安装有曝光机控制操作面板,所述曝光机控制操作面板电性连接于LED光源控制系统。本实用新型通过曝光机控制操作面板控制锁框机构将上框架锁框吸真空,曝光等按钮,实现超长工件图转移,工作效率高,上框架的锁紧定位效果好,有利于超长工件板精确定位,保证曝光质量。
搜索关键词: 超长 工件 图形 转移 曝光
【主权项】:
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