[实用新型]一种微发光二极管巨量转移装置

摘要

本实用新型涉及一种微发光二极管巨量转移装置。包括：柔性基板；以及设置在所述柔性基板一侧表面的镂空结构；其中，所述镂空结构用于吸附所述微发光二极管。在本申请中，微发光二极管巨量转移装置可用于将临时基板上的微发光二极管转移至目标基板，具体的，首先将镂空结构与临时基板上的微发光二极管对齐，通过按压柔性基板排出镂空结构内的空气从而吸附微发光二极管，实现微发光二极管从临时基板到镂空结构的转移；然后将吸附有微发光二极管的镂空结构移动至目标基板，使得微发光二极管与目标基板相键合；最后再施加外力使得柔性基板弯曲，从而空气进入镂空结构完成柔性基板与微发光二极管的分离，从而将微发光二极管转移到目标基板。