[实用新型]一种具有刻蚀尖部的MEMS悬臂梁探针有效
| 申请号： | 202220192651.5 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN217717871U | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 钱晓晨;王文涛;朱杰;府金庭 | 申请（专利权）人： | 苏州和林微纳科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人： | 李妹明 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有刻蚀尖部的MEMS悬臂梁探针，包括依次连接的针头、悬臂梁和针尾，针头包括基部和针尖部，基部成型于悬臂梁上，针尖部成型于基部上远离悬臂梁的一端，该针尖部的上端面为平面，且该针尖部的至少一侧的侧壁为斜面结构。本实用新型结构更简单，头部变尖，减小接触面积，增加针的扎痕深度，接触更加良好，增加测试良率减少成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 刻蚀 mems 悬臂梁 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州和林微纳科技股份有限公司，未经苏州和林微纳科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202220192651.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：双腔导尿管、导尿装置
- 下一篇：一种可拆装收纳篮
