[实用新型]一种同时测量温湿度的超材料传感器

摘要

本实用新型公开了一种同时测量温湿度的超材料传感器，所述传感器由石英衬底层、聚二甲基硅氧烷层、硅结构层和聚乙烯醇层组成；当光束正入射到所述传感器时，会引起电偶极子谐振和磁偶极子谐振，形成两个明显的波谷，当外界的温度和湿度变化时，分别影响聚二甲基硅氧烷层和聚乙烯醇层的折射率，从而引起两个波谷波长的偏移；根据两个波长偏移，可以反推出温度和湿度的变化量，实现温湿度同时测量的效果；仿真结果表明，该传感器的两个波谷对于温度传感的灵敏度为‑0.224nm/℃和‑0.069nm/℃，对于湿度传感的灵敏度为‑0.618nm/％和‑0.521nm/％；所述传感器灵敏度较高，可实现温湿度同时测量，可批量生产，广泛应用于各种环境中。