[发明专利]异质集成弹性波滤波器和射频芯片在审
| 申请号： | 202211741603.8 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN116192074A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 胡锦钊;张磊;杨睿智;李帅;郭嘉帅 | 申请（专利权）人： | 深圳飞骧科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H1/00 | 分类号： | H03H1/00;H03H9/17;H03H9/25;H03H9/145;H03H9/64;H03H9/54 |
| 代理公司： | 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 | 代理人： | 刘伟 |
| 地址： | 518052 广东省深圳市南山区南头街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种异质集成弹性波滤波器和射频芯片，异质集成弹性波滤波器包括压电衬底、声表面波谐振器和横向激励薄膜体声波谐振器；压电衬底包括支撑层、牺牲层和压电层，牺牲层为多晶硅或二氧化硅制成；压电层为压电材料制成；声表面波谐振器包括第一叉指换能器和第一汇流条；横向激励薄膜体声波谐振器包括第二叉指换能器和第二汇流条，第二汇流条分别与第二叉指换能器和第一汇流条电连接；压电衬底还设有由牺牲层刻蚀形成的空腔，横向激励薄膜体声波谐振器向压电衬底的正投影完全位于空腔内，声表面波谐振器向压电衬底的正投影完全位于空腔范围以外。与相关技术相比,本发明的技术方案的工作频率范围宽、带外抑制性能好、集成度高且体积小。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 弹性 滤波器 射频 芯片 | ||
【主权项】：
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