[发明专利]一种超高温热流测量薄膜传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211589164.3 | 申请日： | 2022-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN116380292A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 黄漫国;张梅菊;梁晓波;吴怀昊;方续东;梁鹏程 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所;北京长城航空测控技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01K17/08 | 分类号： | G01K17/08;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58;C23C14/08;C23C14/30;C23C14/04;G01K7/02 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 杜永保 |
| 地址： | 100022 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种超高温热流测量薄膜传感器及其制备方法，薄膜传感器依次包括表面设置有凹槽的基底(1)、缓冲层(2)、热生长氧化层(3)、绝缘层(4)、沉积在绝缘层(4)上的热电堆(5)和覆盖热电堆(5)沉积在绝缘层(4)上的热阻层(6)，其中所述热电堆(5)由多对热电偶的第一热电极(7)和第二热电极(8)首尾串联而成，所述热电偶热节点位于基底(1)凹槽槽顶的绝缘层(4)表面，冷节点位于基底(1)凹槽槽底的绝缘层(4)表面。本发明让热电偶在空间上敷设，热阻层沉积后抛光使得传感器结构更优化，采用的工艺提升了传感器灵敏度和传感器表面的平整度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高温 热流 测量 薄膜 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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