[发明专利]拉晶过程中便于测量大直径晶棒的主炉室炉盖及单晶炉在审
| 申请号： | 202211558418.5 | 申请日： | 2022-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN115717267A | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 梁万亮;马国忠;何玉乐;丁亚国;顾燕滨;河野贵之 | 申请（专利权）人： | 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 杜振学 |
| 地址： | 750000 宁夏回族自*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种拉晶过程中便于测量大直径晶棒的主炉室炉盖，包括盖体，盖体上设置喉口、第一观察窗和第二观察窗，第一观察窗、第二观察窗和喉口成品字状设置在炉体上，第一观察窗上设置第一刻度尺和第一支架，第一目镜以滑动方式设置在第一支架上并能够通过第一观察窗观察单晶炉内部，第二观察窗上设置第二刻度尺和第二支架，第二目镜以滑动方式设置在第二支架上并能够通过第二观察窗观察单晶炉内部，第一刻度尺的零刻度线和第二刻度尺的零刻度线相互靠近设置。通过第一目镜对准熔融硅液面处晶棒的一侧后读取数值L1，第二目镜对准熔融硅液面处晶棒的另一侧读取数值L2，然后将三个数值相加获得晶棒的直径数值。 | ||
| 搜索关键词： | 过程 便于 测量 直径 主炉室炉盖 单晶炉 | ||
【主权项】：
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