[发明专利]用于更换卷盘的系统及其方法在审
| 申请号： | 202211538971.2 | 申请日： | 2022-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN116534668A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 吴俊毅;谢烈铭;莫哈末瑞诸安·宾阿都沙末 | 申请（专利权）人： | 苏州正齐半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B65H67/04 | 分类号： | B65H67/04;B65H54/70 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 戴涛 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市中国（江苏）自*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明在本文中的实施例大致关于半导体生产线上的工件的装卸及输送的控制。详细而言，本发明关于一种用于更换卷盘的系统(1)及其方法(100)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 更换 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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