[发明专利]一种集成电路虚拟测试系统在审
| 申请号： | 202211519820.2 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN115963380A | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 王会;徐冉;钱太娇 | 申请（专利权）人： | 江苏润鹏半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01L27/02;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人： | 郑凯 |
| 地址： | 221400 江苏省新沂市锡沂*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成电路虚拟测试系统，包括：功能测试模块，具有多个测试单元，测试单元包括驱动器，用于执行功能测试；直流测试模块，具有电流输出端子和高阻抗电阻；第一校准单元，设置在多个驱动器和比较器之间；第二校准单元，所述第二校准单元包括根据第二组连接关系来耦合所述驱动器和比较器的对的固定接线路径；该集成电路布局文件中加入多个虚设特征，其中所述多个虚设特征被加入该集成电路布局文件是用以调整图案密度以改善制造效果，并且该集成电路方法还包括对该最终掩膜图案执行切割工艺以产生电子束射图以在一电子束光刻工艺中使用以产生掩膜，使用该电子束射图对该掩膜执行该掩膜产生工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 虚拟 测试 系统 | ||
【主权项】：
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