[发明专利]一种半导体石英玻璃制品的真空脱羟炉有效
| 申请号: | 202211517562.4 | 申请日: | 2022-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN115745427B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
| 发明(设计)人: | 刘梦云;蔡桂芳 | 申请(专利权)人: | 东海县晶瑞达石英制品有限公司 |
| 主分类号: | C03C23/00 | 分类号: | C03C23/00;C03B20/00 |
| 代理公司: | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人: | 黄伟锐 |
| 地址: | 222000 江苏省连*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明涉及真空脱羟炉技术领域,具体是涉及一种半导体石英玻璃制品的真空脱羟炉,包括加热炉、盖板和放置架,真空脱羟炉还包括移动控制组件,加热炉的一端与外界连通,盖板能够对加热炉进行密封,盖板的两个主面上能够拆卸的设置有放置架,每一面上放置架的数量至少为一个,移动控制组件固定设置在加热炉上,移动控制组件的输出端能够带动盖板沿直线方向远离加热炉,当盖板移动到远离加热炉的位置时移动控制组件的输出端控制盖板在水平面上旋转180°,并且当盖板旋转之后移动控制组件在保证盖板此时的状态下带动其密封加热炉。本发明减少需要人工参与的操作的同时保证盖板的移动和旋转都不会出现误差,提高了整体的工作效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 石英 玻璃制品 真空 脱羟炉 | ||
【主权项】:
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