[发明专利]一种全自动影像仪的Z轴归零位标定方法及测量系统在审
申请号: | 202211504755.6 | 申请日: | 2022-11-29 |
公开(公告)号: | CN115790377A | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 段存立;黄宏臻 | 申请(专利权)人: | 东莞市兆丰精密仪器有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G02B21/36 |
代理公司: | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人: | 王晓艳 |
地址: | 523129 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种全自动影像仪的Z轴归零位标定方法,其包括步骤S1,设载物平台上表面为理论坐标系零点Z,光学显微镜筒的理论聚焦高度为Z0,Z与Z0之间的距离为C;S2,上电初始化,打开测量软件“一键回零”功能,光学影像组件在Z0上、下区域内扫描搜索载物平台的上表面并拍摄若干张图片,计数光栅尺采集每张图片的Z轴坐标值信息;S3,测量软件提取最清晰的几张图片,这些图片在高度方向上空间层叠且形成高度区域,在这个区域内软件根据每张图片的清晰度以抛物线方式拟合得一个峰值点,峰值点所对应的Z轴坐标值就是实际聚焦高度Zn,计算出点Z与Zn之间距离为Cn;S4.Z轴升降模块在当前的Zn位置沿Z轴上偏移‑△C=Cn‑C,修正了理论坐标系零点Z。 | ||
搜索关键词: | 一种 全自动 影像 零位 标定 方法 测量 系统 | ||
【主权项】:
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