[发明专利]一种运动机构同步性测量装置及其测量方法有效
申请号: | 202211497498.8 | 申请日: | 2022-11-25 |
公开(公告)号: | CN115752239B | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 沈斌;王廷;罗一钧;谢非凡 | 申请(专利权)人: | 杭州光尺科技有限公司;杭州徕之测量技术有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 深圳市育科知识产权代理有限公司 44509 | 代理人: | 杨宁 |
地址: | 310000 浙江省杭州市钱塘区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及直线运动机构双边或多边同步性的高精度测量领域。进行同步性测量时,以其中一边导轨为基准轴,首先将激光发射器架固定,调整激光束使之与基准轴相平行,然后通过安装于基准轴一侧的五棱镜使激光束偏转90°折射至另一边的被测轴处,在该位置上安装有用于接收激光束的双轴PSD传感器,当工作台或龙门架移动时,两侧的不同步会使激光束射在PSD传感器上的位置产生变化,该变化量能够被PSD传感器精确测量,对该数据进行处理分析,从而可以进一步对同步性误差进行补偿。该方法的特点是通过测量双边或多边的相对变化量而非绝对移动量来得到同步性误差,较传统测量方法有精度高,操作简单,适用性强等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 运动 机构 同步 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
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