[发明专利]一种体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211463327.3 | 申请日： | 2022-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN115733461A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 广州市艾佛光通科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/05;H03H3/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 翁仪 |
| 地址： | 510700 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器及其制备方法，涉及半导体器件制造技术领域，包括衬底，所述衬底的表面具有凹腔；第一电极层，所述第一电极层的一面覆盖于所述凹腔；压电层，所述压电层贴合所述衬底，所述压电层将所述第一电极层的其余面覆盖；第二电极层，所述第二电极层贴合连接所述压电层远离所述衬底的一面；以及敏感层，所述敏感层贴合连接所述第二电极层远离所述压电层的一面。本发明实施例提供一种体声波谐振器，优化体声波谐振器的结构，使得体声波谐振器的频率能够在一定范围内调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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