[发明专利]一种CoFeB合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202211462233.4 | 申请日： | 2022-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN115747730A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 张俊飞;蔡新志;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C38/10;B22F9/08;B22F3/14;B22F3/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于磁记录靶材领域，具体公开了一种CoFeB合金靶材及其制备方法。本发明所述CoFeB合金靶材，包括如下质量百分含量的元素组分：钴元素15‑35％，铁元素50‑60％，硼元素15‑30％。本发明在制备CoFeB合金靶材时，采用氮化硼涂层和钼纸作为间隔层，能有效降低CoFeB合金靶材中的C含量，并通过调节加压烧结的条件进而调控靶材内部的晶粒尺寸、靶材致密度以及透磁率，使最终制得的CoFeB合金靶材内部晶粒尺寸均匀，有较高的透磁率，C和O含量极低，组分准确、均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cofeb 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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