[发明专利]晶炉双目三维测量补偿方法、装置、计算机设备和存储介质有效
| 申请号： | 202211461162.6 | 申请日： | 2022-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN115546284B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;朱亮;高宇;葛旭;周铮超 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/62 | 分类号： | G06T7/62;G06T7/70;G06T7/00;G06T1/00;C30B15/22;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 黄文勇 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种晶炉双目三维测量补偿方法、装置、计算机设备和存储介质。方法包括：获取晶棒中心点的参考坐标，并获取晶炉内的实时晶棒图像，基于实时晶棒图像得到晶棒光圈内侧的边界点与凸起棱点的三维坐标；基于参考坐标以及边界点、凸起棱点的三维坐标，分别确定晶棒的当前直径、边界点与中心点的边界点径向距离、凸起棱点与中心点的棱点径向距离；基于边界点径向距离以及棱点径向距离确定边界点与凸起棱点之间的径向距离差；基于径向距离差的变化率对当前直径的反馈信号进行补偿，以调整晶棒直径的控制参数。采用本方法能够准确地测量晶棒直径以及预测直径未来变化，并对直径控制补偿，保证直径控制的及时性和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 双目 三维 测量 补偿 方法 装置 计算机 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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