[发明专利]一种高效提纯尾气氯硅烷的方法在审
| 申请号： | 202211439452.0 | 申请日： | 2022-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN116253326A | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 何敬敬;牛强;赵长森 | 申请（专利权）人： | 内蒙古鄂尔多斯电力冶金集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人： | 张黎 |
| 地址： | 016064 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种高效提纯尾气氯硅烷的方法，具体涉及多晶硅工业技术领域，包括步骤：将还原尾气中的氯硅烷物料经过精馏之后得到的三氯氢硅通入一种针对性去除硼、磷杂质集成一体化的装置中进行提纯，提纯后的三氯氢硅先经过杂质评价装置进行检验，检验合格之后得到高纯的三氯氢硅；本发明还提供一种提纯三氯硅烷的集成一体化的装置。本发明的技术方案，能安全、高效、针对性的进行去除三氯氢硅中的杂质，极大的增强了吸附剂对三氯氢硅进行杂质提纯的效果，简化了反复提纯工艺流程，有效减少去除杂质所需的能耗。本发明的方法和装置可应用于三氯氢硅的高效提纯中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 提纯 尾气 硅烷 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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