[发明专利]一种具有TaC复合涂层的石墨盘及其制备方法

摘要

本申请涉及半导体领域，公开了一种具有TaC复合涂层的石墨盘及其制备方法，具有TaC复合涂层的石墨盘的制备方法包括以下步骤：对石墨盘表面进行图形化预处理，使所述石墨盘表面形成规则整齐排列的凹坑阵列；在所述石墨盘表面依次形成SiC涂层、金属涂层、TaC涂层，使所述石墨盘表面形成TaC复合涂层；在所述TaC涂层表面进行后处理使所述TaC涂层表面非晶化，在高温惰性气体氛围中进行退火处理。本申请所提供的具有TaC复合涂层的石墨盘及其制备方法，通过优化改进石墨盘表面的预处理方法，增加涂层与石墨表面之间的结合强度，提升涂层的可靠性；通过优化TaC复合涂层结构，减少涂层裂纹的产生，进一步提升涂层的可靠性。