[发明专利]一种表征MLCC钛酸钡陶瓷晶粒的样品处理方法在审

专利信息
申请号: 202211424363.9 申请日: 2022-11-15
公开(公告)号: CN115615784A 公开(公告)日: 2023-01-17
发明(设计)人: 刘建梅;刘亚冲;李志雨;仝晓玲 申请(专利权)人: 广东风华高新科技股份有限公司
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28;G01N1/32
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 费雯
地址: 526000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种表征MLCC钛酸钡陶瓷晶粒的样品处理方法,涉及陶瓷晶粒分析方法。包括将MLCC沿长轴或短轴固封在磨台,并机械抛磨至有效电极区域;所得样品进行离子刻蚀;随后浸于酸溶液中进行酸蚀;取出后用水冲洗磨台表面。本发明提供了一种表征MLCC钛酸钡陶瓷晶粒的样品处理方法,与传统的单纯酸腐蚀或热腐蚀表征陶瓷晶粒相比,本发明所述方法对样品抛面预先进行了离子刻蚀处理,离子刻蚀有效去除因抛磨而延展的N i内电极和钛酸钡陶瓷晶粒,在酸腐蚀前,使钛酸钡晶粒的晶界充分暴露,提升了后续酸腐蚀的效果,陶瓷晶粒轮廓明显,晶界腐蚀完全,解决目前分析MLCC钛酸钡陶瓷晶粒形貌和粒径的不足之处。
搜索关键词: 一种 表征 mlcc 钛酸钡 陶瓷 晶粒 样品 处理 方法
【主权项】:
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