[发明专利]在纤锌矿氮化铝基薄膜表面原位生长超薄氧化铝保护层的方法和应用

摘要

一种在纤锌矿氮化铝基薄膜表面原位生长超薄氧化铝保护层的方法和应用，属于电子信息技术领域。本发明利用同一Al金属靶，在纤锌矿AlN基薄膜表面原位生长金属Al薄膜，随后将金属Al薄膜原位氧化为超薄致密的Al2O3层对其下的AlN基压电、铁电薄膜进行完全覆盖保护。本发明能够解决后续生长图形化上电极时AlN基薄膜的潮解氧化问题，操作简便易行，工程实用性强；同时本发明利用Al2O3层优异的介电性质和串联电容器分压原理，降低了器件的漏导电流，提高了抗击穿电压，并保障了AlN基压电铁电薄膜的工作分压，具有广泛的应用前景。