[发明专利]一种光辅助金属有机化合物化学气相沉积装置及实现方法有效
| 申请号： | 202211421166.1 | 申请日： | 2022-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN115679443B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 王新强;陈兆营;刘放;盛博文 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C23C16/48;C30B25/10;C30B25/14;C30B25/16;C30B30/00 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光辅助金属有机化合物化学气相沉积装置及实现方法。本发明采用光束传输光路，对光束聚焦、分束、扩束准直和位置调节的操作，并对MOCVD系统加设入光窗口、出光窗口和惰性气体传输管道，使得光束通过入光窗口进入至反应腔中，光束产生与一种或多种反应剂分子振动模式能量相匹配的光场，引起反应剂分子对光场能量的共振吸收，产生的活性反应源输运到位于加热盘的衬底表面，实现材料的外延生长；并通过选择惰性气体的传输方向为平行方向或垂直流向衬底表面，使得携带反应剂分子的载气平行或垂直流向衬底表面，控制流畅和温场的耦合区域，实现四种不同的耦合方式，从四种耦合方式中选择一种耦合方式满足外延生长需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 金属 有机化合物 化学 沉积 装置 实现 方法 | ||
【主权项】：
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