[发明专利]IGBT器件及其制备方法在审
| 申请号: | 202211405951.8 | 申请日: | 2022-11-10 |
| 公开(公告)号: | CN116190435A | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
| 发明(设计)人: | 侯晓伟;郭依腾;罗杰馨;柴展 | 申请(专利权)人: | 上海功成半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L21/311;H01L29/417;H01L29/423 |
| 代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 罗泳文 |
| 地址: | 201822 上海市嘉定区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本发明提供一种IGBT器件及其制备方法,器件包括:衬底,衬底上形成有IGBT的发射极、栅极和集电极;虚设栅极,设置于栅极和IGBT发射极之间;NMOS管,其源极和栅极与IGBT栅极电连接,漏极与虚设栅极电连接;NPN三极管,其集电极与虚设栅极电连接,发射极与IGBT发射极电连接,基极通过电感与IGBT发射极电连接;PNP三极管,其集电极与虚设栅极电连接,发射极与IGBT发射极电连接,基极通过所述电感与IGBT发射极电连接。本发明通过在器件不同工作状态(导通、开通和关断)时控制虚设栅极的电位的变化,可以有效改善器件发热,提升功率密度,进而提升器件性能,使IGBT器件可用于更高频率的应用。 | ||
| 搜索关键词: | igbt 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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