[发明专利]一种基于SOI的C波段数字化超表面片上集成伦伯透镜在审
| 申请号： | 202211375000.0 | 申请日： | 2022-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN115657171A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 王琳;张磊;尹坤 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G02B1/00 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人： | 戴莉 |
| 地址： | 311121 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于SOI的C波段数字化超表面片上集成伦伯透镜，所述伦伯透镜由上至下依次设置为超表面层、顶硅层和衬底层，所述超表面层为由空气孔和正方形硅结构构成的硅层，所述顶硅层为直平板硅波导，所述衬底层为二氧化硅，所述顶硅层与所述衬底层由标准SOI工艺平台制成，所述伦伯透镜通过所述超表面层中空气孔的不均匀分布实现对输入光的聚焦。本发明具有紧凑器件尺寸和宽操作带宽的片上集成伦伯透镜，在光通信、成像、计算和传感有广泛的应用；利用了二维码分布的微纳结构阵列，来调节超材料表面的局域占空比，进而调控波导内部不同区域的有效折射率来实现顶硅层内光的聚焦，而非通过改变材料本身的折射率来实现顶硅层内光的聚焦。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 soi 波段 数字化 表面 集成 透镜 | ||
【主权项】：
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