[发明专利]一种不等极板面积的角位移测量电容传感器在审
| 申请号： | 202211364907.7 | 申请日： | 2022-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN115655094A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 石照耀;于江豪;宋辉旭 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G01B7/30 | 分类号： | G01B7/30 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 王兆波 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种不等极板面积的角位移测量电容传感器，电容极板分为动模块和定模块、极板间介质；动模块和定模块分为四组。所述不等面积电容传感器极板结构A、C表示为动、定模块面积不相等的两组极板，其中定模块面积小于动模块的面积；B、D组为动、定模块面积相等，整体构型为不等面积。所述不等面积电容传感器，各极板位置关系如下：A、C组极板重心沿y轴分布，且关于x轴对称；B、D组极板重心沿x轴分布，且关于y轴对称；A、B、C、D组上下极板的重心在一条平行于z轴的直线上。本发明提供的电容传感器相对常规结构的电容传感器相比，能测量三轴的角度变化量，测量维数多，解析数据能够实现的精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 不等 极板 面积 位移 测量 电容 传感器 | ||
【主权项】：
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