[发明专利]一种基于光栅反射与四台阶反射镜的位移传感器在审
| 申请号： | 202211328871.7 | 申请日： | 2022-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN115682953A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 张瑞;曹斌;辛晨光;李孟委 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02B5/09;G02B5/18 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 连慧敏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于位移传感器技术领域，具体涉及一种基于光栅反射与四台阶反射镜的位移传感器，包括光源、半透半反镜、一维光栅、台阶反射镜和四象限探测器，所述半透半反镜设置在光源的光路方向上，所述一维光栅设置在半透半反镜的光路方向上，所述台阶反射镜设置在一维光栅的光路方向上，所述四象限探测器设置在半透半反镜的反射光路上。本发明利用纳米光栅自成像效应，通过检测半透半反镜输出光强的变化情况，实现光学信号的A、B相光学信号输出，进而减小电学细分的难度，实现高灵敏度的位移测量。并且本发明无需偏振片、半波片等附件光学元件，显著简化了测量结构、降低了器件成本，利于实现结构微型化与集成化应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光栅 反射 台阶 位移 传感器 | ||
【主权项】：
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