[发明专利]面向激光雷达的1550nm波段高功率半导体激光器外延结构和方法在审
| 申请号： | 202211314928.8 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN115548877A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 汪语潇;王玉洁;郑玉婵 | 申请（专利权）人： | 南宇芯光（南京）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/20 | 分类号： | H01S5/20;H01S5/22;G01S7/481 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 张力 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江宁区清水亭东路1*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了面向激光雷达的1550nm波段高功率半导体激光器外延结构和方法，所述外延结构，包括n型衬底层，以及在n型衬底层上依次外延生长的n型模式扩展波导层、非掺杂下限制层、势垒层、量子阱层、非掺杂上限制层、p型刻蚀停止层、p型缓冲层、p型光栅层、p型包层、p型能带过渡层和p型欧姆接触层；多层量子阱层和多层势垒层构成多量子阱层，作为有源区，且增益峰值位于1550nm波段；p型欧姆接触层、p型能带过渡层、p型包层、p型光栅层及p型缓冲层刻蚀至p型刻蚀停止层之上构成脊波导结构，用于调控侧向光场分布；n型模式扩展波导层，用于扩展近场光场。本发明可获得1550nm波段高功率连续波、高光束质量激光。 | ||
| 搜索关键词： | 面向 激光雷达 1550 nm 波段 功率 半导体激光器 外延 结构 方法 | ||
【主权项】：
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