[发明专利]一种基于偏振分束光栅的干涉位移测量装置在审
| 申请号： | 202211314696.6 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN116007503A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 贾伟;王奕涵;陈昱达;王津;周常河 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B9/02015;G01B9/02055 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 付茵茵 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于偏振分束光栅的干涉位移测量装置，包括光源组件、光路组件、光电接收模块和信号处理模块；光源组件用以产生测量光束；光路组件包括第一反射棱镜、反射式光栅、第二反射棱镜、第三反射棱镜和偏振分束光栅；光源组件发出测量光束到第一反射棱镜，第一反射棱镜用以将测量光束反射至反射式光栅，反射式光栅将测量光束分为第一衍射光和第二衍射光，第一衍射光和第二衍射光分别反射到第二反射棱镜和第三反射棱镜，第二反射棱镜和第三反射棱镜用以将第一衍射光和第二衍射光调整后入射到偏振分束光栅上；光电接收模块与信号处理模块电信连接，信号处理模块用以对第一拍频信号和第二拍频信号进行差分计算，计算出位移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 偏振 光栅 干涉 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
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