[发明专利]一种基于光谱共焦原理的几何量精密测量装置及方法在审

专利信息
申请号: 202211312724.0 申请日: 2022-10-25
公开(公告)号: CN115682952A 公开(公告)日: 2023-02-03
发明(设计)人: 孙安玉;张师健;虞兵;曲凯歌;钟皓泽;朱吴乐;居冰峰 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 朱月芬
地址: 310000 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种基于光谱共焦原理的几何量精密测量装置及方法。本发明包括双模测头、宽光谱光源、光纤光路、光谱检测模块和信号处理模块。双模测头通过将光谱共焦的光路一分为二,一路用于非接触式距离测量、另一路用于精确测定接触式探针的接触状态,实现非接触式和接触式两种测量模式。接触式探针的固定侧具有平端面,探针的接触力将改变平端面的姿态和位置,利用光谱共焦的测距原理,光谱检测模块测量并计算得到接触式探针的受力位置、受力大小和受力方向。当上述受力数据大于设定阈值时,信号处理模块将对外输出触发信号,用于控制数据采集装置采样。本发明可实现平面角度、形位误差、表面粗糙度等几何量的高精度测量。
搜索关键词: 一种 基于 光谱 原理 几何 精密 测量 装置 方法
【主权项】:
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