[发明专利]发光二极管外延片及其制备方法、发光二极管在审
申请号: | 202211302847.6 | 申请日: | 2022-10-24 |
公开(公告)号: | CN115528153A | 公开(公告)日: | 2022-12-27 |
发明(设计)人: | 程金连;张彩霞;印从飞;刘春杨;胡加辉;金从龙 | 申请(专利权)人: | 江西兆驰半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12;H01L33/32;H01L33/04;H01L33/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 王建宇 |
地址: | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: |
本发明公开了一种发光二极管外延片及其制备方法、发光二极管,涉及半导体光电器件领域。发光二极管外延片包括衬底和依次生长于所述衬底上的AlN层、缓冲层、U‑GaN层、N‑GaN层、应力释放层、多量子阱层、电子阻挡层和P‑GaN层;其中,所述缓冲层为周期性结构,每个周期均包括依次层叠的AlGaN层、多晶GaN层、HT‑GaN层和低掺GaN层,所述缓冲层的周期数≥2,所述低掺GaN层的掺杂浓度为1.5×10 |
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搜索关键词: | 发光二极管 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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