[发明专利]一种微区XRF元素分析与多维成像方法及系统有效
| 申请号： | 202211266940.6 | 申请日： | 2022-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN115656238B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 许琼;魏存峰;舒岩峰;刘跃东;王逸凡 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理有限公司 11200 | 代理人： | 司立彬 |
| 地址： | 100049 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微区XRF元素分析与多维成像方法及系统。本系统包括多维度运动装置，用于搭载并驱动轮廓信息采集装置和微区XRF进行多维度运动；轮廓信息采集装置，用于在多维度运动装置的驱动下对待检测物体的轮廓进行扫描，获取待检测物体的轮廓信息并将其发送给多维度运动装置；微区XRF，用于在多维度运动装置的驱动下沿扫描轨迹移动到每一扫描点对应的工作位置，对待检测物体进行X射线照射，并获取待检测物体发出的X射线荧光光谱并将其发送给数据分析与显示系统；其中多维度运动装置根据轮廓信息确定微区XRF相对于待检测物体上每一扫描点的工作位置及扫描轨迹；数据分析与显示系统，用于对光谱进行实时显示以及元素分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 xrf 元素 分析 多维 成像 方法 系统 | ||
【主权项】：
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