[发明专利]一种内嵌式压电加速度传感器结构在审
| 申请号: | 202211242170.1 | 申请日: | 2022-10-11 |
| 公开(公告)号: | CN116430071A | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
| 发明(设计)人: | 金城;王启迪;赵聪;冯婷;黄伟;余快;李菊红;彭鹏 | 申请(专利权)人: | 成都凯天电子股份有限公司 |
| 主分类号: | G01P15/09 | 分类号: | G01P15/09;G01P1/00 |
| 代理公司: | 北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙) 11870 | 代理人: | 周芸婵 |
| 地址: | 610091*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种内嵌式压电加速度传感器结构,属于压电加速度传感器技术领域,内嵌式压电加速度传感器结构包括基座,基座上设置有凹槽,凹槽内设置有两个第一压电元件,两个第一压电元件之间设置有一个弹性质量块,弹性质量块使两个第一压电元件分别贴合于凹槽的两个侧面上。第一压电元件与弹性质量块的重量通过基座凹槽两侧支撑,无传统剪切式结构的中心柱,摆脱了中心柱结构尺寸对小型化的制约,增大传感器结构小型化的潜力。同时,凹槽两侧支撑的形式比单个中心柱的支撑刚度更大,传感器可达到更宽的频率响应范围和更小的测量误差。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 内嵌式 压电 加速度 传感器 结构 | ||
【主权项】:
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