[发明专利]一种局域场增强的光电导型高速光电探测器

摘要

本发明公开了一种基于表面等离激元增强的光电导型新型结构高速光电探测器及其制备方法，器件结构从下至上包括：置于底部的衬底；置于所述衬底上方的下金属电极；置于所述下金属电极上方的半导体材料层，所述半导体材料层用于产生光生载流子，并在外加电场的作用下将光生电流输运至两侧电极；置于所述半导体材料层上方的双层金属光栅电极，包含下层金属光栅电极和上层金属光栅电极；所述双层金属光栅电极通过外侧环形电极进行电连接；所述双层金属光栅电极与所述下金属电极分别构成探测器的正极和负极，用于为探测器加外置偏压。本发明提供的基于表面等离激元增强的光电导型高速光电探测器，以解决传统光探测器的响应速度低，转换效率低的问题。