[发明专利]激光器主动层外延结构及其生长方法和激光器在审
| 申请号： | 202211145561.1 | 申请日： | 2022-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN115528541A | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 潘德烈;李承远;李佳勋 | 申请（专利权）人： | 深圳市德明利光电有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/30 | 分类号： | H01S5/30;H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 曹延鹏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区福保*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种激光器主动层外延结构及其生长方法和激光器，应用于垂直腔面发射激光器，外延结构包括：能障层、井层和限制层；其中，第一限制层和第二限制层位于主动层的两侧；第一限制层与第一能障层相连；第二限制层与第二能障层相连；第一能障层与第二能障层之间由下至上为第一井层与第三能障层构成的周期性结构和第二井层组成；周期性结构包括至少一个周期单元，且每个周期单元包括交替叠加的第一井层和第三能障层；能障层包括能障垂直层和能障渐变层。通过将能障层设置为能障垂直层和渐变结构的能障渐变层，缩小能障层厚度，以使井层容积相对增加，从而提高井层中的载子复合机率，进而降低电子泄露的可能性，以提升激光器的内量子效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光器 主动 外延 结构 及其 生长 方法 | ||
【主权项】：
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