[发明专利]一种支撑装置及测量系统在审
| 申请号： | 202211138757.8 | 申请日： | 2022-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN115451815A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 张谋;章富平 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/06 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 邹航 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种支撑装置，用于测量设备光学系统，包括底部平台、光学平台、直线运动台和支撑件；光学平台设置于底部平台上方，直线运动台设置于光学平台上方；支撑件包括悬臂结构，支撑件在垂向的刚度小于在水平方向的刚度；支撑件设置于光学平台和底部平台之间和/或直线运动台和光学平台之间，以减少直线运动台在运动方向之外的位移/偏移。本发明还公开具有上述支撑装置的测量系统，其可以进而减小底部平台、光学平台和直线运动台三者之间共面度对光路指向的影响，提升直线运动台的运动时的稳定性，保证系统的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 装置 测量 系统 | ||
【主权项】：
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