[发明专利]衍射光波导结构在审
| 申请号： | 202211095589.9 | 申请日： | 2022-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN115685553A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 熊羚鹤;高一峰;尹正坤;杨神武;张晴雯;汪杰;陈远 | 申请（专利权）人： | 舜宇奥来半导体光电（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/01 | 分类号： | G02B27/01;G02B6/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 200120 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种衍射光波导结构。衍射光波导结构包括：光波导片；耦入元件，耦入元件设置在光波导片的一侧表面上，耦入元件为反射式耦入元件；膜层结构，膜层结构设置在耦入元件上，且位于耦入元件远离光波导片的一侧，膜层结构的至少一部分填充在耦入元件的间隙中，膜层结构沿远离耦入元件方向依次包括金属层和保护层。本发明解决了现有技术中的衍射光波导结构存在耦入效率差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 波导 结构 | ||
【主权项】：
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