[发明专利]一种蓝宝石晶圆自动铲片装置及方法

摘要

一种蓝宝石晶圆自动铲片装置及方法，其中安装架设有工作台，工作台上设有旋转台，旋转台上方设有承载盘，承载盘一侧设有气浮导轨、收集卡塞；气浮导轨的导轨面贯穿设有微孔阵列，气浮导轨底部设有导流腔；承载盘上方间隔设有铲刀、风刀、旋转架，旋转架上设有真空吸盘。利用旋转台、调距执行件分别对承载盘及晶圆形成旋转驱动及倾角控制，由风刀、铲刀及真空吸盘组件对晶圆阵列的内圈、外圈进行分布式自动铲取、转移作业，在送入气浮导轨后，令晶圆被正压气膜托浮至漂移状态以保障不受物理冲击，而后滑落至收集卡塞内进行收集，确保晶圆与载具分离、转移操作的高度自动化，同时确保晶圆品质完好及收集片序的一致性，增益晶圆制造行业的生产效益。