[发明专利]掩膜组件及其制造方法、显示装置在审
| 申请号： | 202211063893.5 | 申请日： | 2022-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN115386831A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 张峰杰;王路;孙中元;王伟杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 雷思鸣 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种掩膜组件及其制造方法、显示装置，属于显示技术领域。该掩膜组件包括掩膜板和掩膜框架，该掩膜板设置在该掩膜框架上且与该掩膜框架固定连接，该掩膜板包括第一对位结构，该掩膜框架包括第二对位结构，第一对位结构与第二对位结构不同，第一对位结构与第二对位结构对位。本申请提供的掩膜组件中，掩膜板与掩膜框架的对位精度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 及其 制造 方法 显示装置 | ||
【主权项】：
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