[发明专利]一种温度控制方法及半导体设备在审
| 申请号： | 202211060301.4 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115235257A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 杨晴;钟结实;肖托;王艾 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F27D19/00 | 分类号： | F27D19/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 李潇 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请公开了一种温度控制方法及半导体设备，半导体设备的控温区域划分为多个控温区段。本申请可根据控温区段的温度检测值的异常持续周期，区分温度检测值的异常情况是否属于跳变类异常，即温度检测值的异常持续周期小于预设周期数时，认为温度检测值的异常情况属于跳变类异常；温度检测值的异常持续周期不小于预设周期数时，认为温度检测值的异常情况不属于跳变类异常，属于明显异常情况。本申请对温度检测值的明显异常情况不做处理，只针对温度检测值的跳变异常情况进行处理，即过滤掉跳变异常点，一方面是为了解决工艺过程中出现的温度检测值跳变的问题，避免温度异常波动影响工艺结果；另一方面是为了不影响温度检测值明显异常情况的判断。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 温度 控制 方法 半导体设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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