[发明专利]BGA产品、选择性电磁屏蔽方法及水洗除胶装置在审

专利信息
申请号: 202211049507.7 申请日: 2022-08-30
公开(公告)号: CN115394757A 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 姚晓艳 申请(专利权)人: 歌尔微电子股份有限公司
主分类号: H01L23/552 分类号: H01L23/552
代理公司: 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 代理人: 周礼涛
地址: 266101 山东省青岛市崂*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种BGA产品、选择性电磁屏蔽方法及水洗除胶装置,选择性电磁屏蔽方法包括以下步骤:将BGA产品设置在载具上;通过点胶工艺将水洗胶覆盖在所述BGA产品的非溅镀区域;对所述BGA产品进行溅镀作业;对溅镀后的所述BGA产品进行水洗除胶,以去除所述非溅镀区域处的所述水洗胶。本发明的BGA产品的选择性电磁屏蔽方法,采用水洗胶进行点胶工艺来遮蔽BGA产品上的非溅镀区域。水洗胶易溶于水,可以采用水洗的方式进行除胶,可以实现完全除胶,不会造成残胶问题,有利于提高BGA产品的质量。同时该选择性电磁屏蔽方法操作简单、易于实现,适合大面积推广应用。
搜索关键词: bga 产品 选择性 电磁 屏蔽 方法 水洗 装置
【主权项】:
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