[发明专利]一种电子级乙炔的纯化方法在审
| 申请号: | 202211040863.2 | 申请日: | 2022-08-29 |
| 公开(公告)号: | CN115246760A | 公开(公告)日: | 2022-10-28 |
| 发明(设计)人: | 陈润泽;张建伟;鲁毅;吝秀锋;倪珊珊;李茹霞;姜世楠;罗智方 | 申请(专利权)人: | 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 |
| 主分类号: | C07C7/00 | 分类号: | C07C7/00;C07C11/24 |
| 代理公司: | 西安汇恩知识产权代理事务所(普通合伙) 61244 | 代理人: | 毕波 |
| 地址: | 057550 河北省邯*** | 国省代码: | 河北;13 |
| 权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
| 摘要: | 本发明提供了一种电子级乙炔的纯化方法,包括以下步骤:来自钢瓶的乙炔原料气经过热交换器除去丙酮和水分,随后通过煤质活性炭吸附剂去除砷烷、磷烷、硫化氢,再通过硅胶吸附剂去除原料气中的烯烃类;接着经过过滤器后进入缓冲罐,通过压缩机加压后进入乙炔吸附塔,乙炔吸附塔中使用高纯丙酮对乙炔进行吸收,原料气中的不凝气通过塔顶排除;溶有乙炔的丙酮进入解吸塔进行解吸,最终得到纯度为4N的高纯乙炔。本发明具有无腐蚀、无污染、运行成本低的特点,是替代浓硫酸法的理想选择。实现了溶剂的循环使用,大幅减少了三废量的产生、降低了成本。对于提升乙炔产品质量,满足半导体行业对于高纯乙炔的需求具有重要的意义。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 电子 乙炔 纯化 方法 | ||
【主权项】:
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