[发明专利]一种面向人体健康监测的柔性应变传感器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202211039782.0 申请日: 2022-08-29
公开(公告)号: CN115420189A 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 李春;张锐;兰长勇;刘力文;林杰;杨卓俊 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: G01B7/16 分类号: G01B7/16;C23C14/20;C23C14/35;C23C14/24;C23C14/58
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种面向人体健康监测的柔性应变传感器及其制备方法,所述面向人体健康监测的柔性应变传感器包括柔性衬底、位于衬底上的二硒化钯(PdSe2)薄膜、金属电极及聚合物封装钝化膜。所述制备方法具体步骤为:在柔性衬底上直接生长一层二硒化钯薄膜,二硒化钯通过等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)硒化制备而成,在二硒化钯薄膜上镀金属电极,再使用聚合物膜封装。本发明的优点是二硒化钯材料低温合成兼容柔性基底,工艺简洁,易于集成,便于大规模生产高灵敏面向人体健康监测的柔性应变传感器。
搜索关键词: 一种 面向 人体 健康 监测 柔性 应变 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学,未经电子科技大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202211039782.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top