[发明专利]一种压电陶瓷驱动的三维微定位平台在审
| 申请号： | 202211031341.6 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115370900A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 赵智全;祝锡晶;李婧;陈俊伟 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | F16M11/04 | 分类号： | F16M11/04;F16M11/18;F16M11/22;F16M11/40;F16C11/12;H02N2/04 |
| 代理公司： | 北京精翰专利代理有限公司 11921 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电陶瓷驱动的三维微定位平台，属于微纳定位技术领域，本发明所述的三维微定位平台包括上平台和下平台，所述的上平台和下平台之间靠四角设有支撑杆件，所述的上平台中设有通槽且在通槽中设有移动平台，所述的移动平台的四周侧壁分别设有柔性铰链一。本发明的优点在于：本发明通过将驱动器与放大机构配合，扩大了移动平台的位移范围；通过采用多连杆对称导向机构，具体地采用连杆对称式，使其在兼顾位移行程的同时考虑整体结构刚度，能够最大程度的消除耦合误差以及寄生位移对定位精度的影响，提高定位精度；纵向位移采用二级放大结构实现二级放大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 陶瓷 驱动 三维 定位 平台 | ||
【主权项】：
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